半导体压阻传感器,Semiconductor piezoresistive sensors
1)Semiconductor piezoresistive sensors半导体压阻传感器
英文短句/例句
1.Pulse Signal Acquisition System Based on Semiconductor Piezoresistive Sensors基于半导体压阻传感器的脉搏信号采集系统
anic semiconductor gas transducer /sensor有机半导体气体传感器
anic semiconductor humidity transducer [sensor]有机半导体湿度传感器
4.ionsensitive field transistor离子选择半导体传感器
5.Data Fusion Technique Based on Neural Network for Semiconductor Pressure Sensor;基于神经网络的半导体压力传感器数据融合技术
anic semiconductor thermistor有机半导体热敏电阻器
7.piezoresistive acceleration transducer压阻式加速度传感器
8.Preparations of Low Dimensional Oxide Semiconductors and Constructions of Gas-sensing Devices;低维半导体氧化物的合成及气体传感器的研制
9.transverse voltage type piezoresistive pressure transducer横向电压型压敏电阻压力传感器
10.The Research on Semiconductor Metal Oxides Nanomaterial for NO_2 Gas Sensors;金属氧化物半导体纳米材料NO_2传感器研究
11.Measures of lmproving Reliability of QM-Y serial Gas sensors;提高QM-Y系半导体气敏传感器可靠性的措施
12.Synthesis of Organic Semiconductor Hexadecachlor Zinc Phthalocyanine and Its Chlorine Gas SensorZnPcCl_(16)有机半导体材料合成及其氯气传感器研究
13.The Modeling, Simulation and Experiment of Fiber Optic Temperature Sensor Based on Semiconductor Optical-absorption半导体式光纤温度传感器的建模、仿真与实验
14.Study on signal processing and linearization of semiconductor type Cl_2 sensor半导体型氯气传感器的信号处理与线性化研究
15.Advances of organic semiconductor solar sensor technologies有机半导体太阳能传感器技术研究进展
16.Silicon Micro-pressure sensor based on Meso-piezoresistance介观压阻型硅微压力传感器仿真分析
17.Research on Semi-active Thermal Resistance Controller Based on Thermal Energy Converter;基于半导体致冷器的半主动热阻控制器研究
18.Semiconductor convertors--Transformers and reactorsGB/T3859.3-1993半导体变流器变压器和电抗器
相关短句/例句
semiconductor piezoresistive sensor半导体压阻式传感器
1.The sensor is widely used in every aspect of production and life,andsemiconductor piezoresistive sensor has become the main role in the modern test due to its good performance.传感器在生产和生活的各个方面应用广泛 ,而半导体压阻式传感器以其优越的性能成为现代测试领域的主角。
3)semiconductor pressure sensor半导体压力传感器
1.For the problem of influence of temperature on the output ofsemiconductor pressure sensor ,a new elimination way--neural network is pointed out.针对温度对半导体压力传感器输出影响的问题,提出一种新的消除方法———神经网络法,建立了2-6-1神经网络结构,并利用神经网络的学习记忆功能,消除了温度对传感器输出的影响,实际运行结果表明,该方法具有实用、高效等特点。
4)semiconductor sensor半导体传感器
5)semiconductor sensors半导体传感器
6)semiconductor gas sensor半导体气体传感器
1.Programmable calibration system forsemiconductor gas sensors;用于半导体气体传感器的程控标定系统
2.An automated test system forsemiconductor gas sensors is constructed in this thesis.本文组建了一套用于半导体气体传感器的自动测试系统。
3.In this design,a simple and cheap gas leakage detector is designed to correctly test the dangerous gas leakage,which is based on thesemiconductor gas sensor,combining with the 7805 and LM324 chips.以半导体气体传感器为核心,结合7805和LM324,设计了一种简易廉价并且能够准确检测泄漏气体的危险气体泄漏报警器。
延伸阅读
压阻式传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制(见加速度计)。压阻效应 当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量,从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异,因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不同于金属应变计(见电阻应变计),前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化,后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化(应变),而且前者的灵敏度比后者大50~100倍。压阻式压力传感器的结构 这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线(图1)。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。图1 中硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。图2中是两种微型压力传感器的膜片,图中数字的单位为毫米。此外,也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。 发展状况 1954年C.S.史密斯详细研究了硅的压阻效应,从此开始用硅制造压力传感器。早期的硅压力传感器是半导体应变计式的。后来在 N型硅片上定域扩散P型杂质形成电阻条,并接成电桥,制成芯片。此芯片仍需粘贴在弹性元件上才能敏感压力的变化。采用这种芯片作为敏感元件的传感器称为扩散型压力传感器。这两种传感器都同样采用粘片结构,因而存在滞后和蠕变大、固有频率低、不适于动态测量以及难于小型化和集成化、精度不高等缺点。70年代以来制成了周边固定支撑的电阻和硅膜片的一体化硅杯式扩散型压力传感器。它不仅克服了粘片结构的固有缺陷,而且能将电阻条、补偿电路和信号调整电路集成在一块硅片上,甚至将微型处理器与传感器集成在一起,制成智能传感器(见单片微型计算机)。这种新型传感器的优点是:①频率响应高(例如有的产品固有频率达1.5兆赫以上),适于动态测量;②体积小(例如有的产品外径可达0.25毫米),适于微型化;③精度高,可达0.1~0.01%;④灵敏高,比金属应变计高出很多倍,有些应用场合可不加放大器;⑤无活动部件,可靠性高,能工作于振动、冲击、腐蚀、强干扰等恶劣环境。其缺点是温度影响较大(有时需进行温度补偿)、工艺较复杂和造价高等。应用 压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。在航天和航空工业中压力是一个关键参数,对静态和动态压力,局部压力和整个压力场的测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布,测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中,使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试验中,压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。单个传感器直径仅2.36毫米,固有频率高达300千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是理想的检测工具。已制成扩散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。此外,在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。随着微电子技术和计算机的进一步发展,压阻式传感器的应用还将迅速发展。参考书目袁希光主编:《传感器技术手册》,国防工业出版社,北京,1986。